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可設(shè)置清洗流程

關(guān)鍵詞：

產(chǎn)品 新聞 下載

晶圓清洗機(jī)

設(shè)備同時(shí)搭載3種噴嘴（氣體噴嘴、二流體噴嘴、一流體噴嘴），通過智能切換，可不停機(jī)切換清洗類型，除了標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格的高壓清洗噴嘴之外，還可選擇水汽二流體清洗、清洗液清洗、潔凈氣體噴淋、甩干

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